某光电器件制造出制造业企业因晶圆清洁工作制作工艺行成含氨废水外理工艺，需水量200吨/天。废水外理工艺中除化学需氧量外还带有氟化物和轻微天价属，外理高难度大。地方排放物规范需要化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水有效成分及源 晶圆进行维护清洁废气（主要是因素）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀生产工艺废渣：含轻微铜、镍等血本属，pH值动荡大 CMP考虑电镀废水：含硅颗料及氧化还原电位 处里的鑫霖环保流程图 用于"化工沉淀自己+膜分开+折点氯化"三人组合加工： 预治理 ：加药系统CaCl2除氟，控制pH在7.5-8. 反渗透装置控制系统 ：快速清理0.01μm上述颗料物 反参透精提 ：将氟化物萃取至1000mg/L上文 折点氯化 ：明确的控制氯加药量，将氯离子变为为氦气 阴离子互转 ：有效保障血本属及格 终究目的 氯离子平稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属含铁不超判断限 水循环率达75% 淤泥生产量减低40%