该厂为84英寸晶圆生产方式线配建的超软水系统，每晚所产生含硅生产废水150吨。生产废泥中虽无血本属，但硅硫含量高易水垢，且热敏电阻率需达成18MΩ·cm才华中水回用。应有加工施工工艺始终无法拥有新实施的《電子企业水空气污物排卸规则》（GB39731-2020）特意排卸限制值。 废液因素优势 最主要严重污染 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗料硅（粒级0.1-1μm） 特别耍求 ：TOC<10μg/L，硼占比<5μg/L 水体质量功能 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅氧化物底部形态错综复杂 补救施工工艺注意事项 信息化选用"梯级膜离心分离+电去化合物"搭档艺： 微滤预处置 ：1μm淘瓷膜过滤大颗料硅，通量能维持80LMH 阴阳离子变换硅橡胶 ：D201大孔聚酯树脂确定性吸附物硅酸大分子 下级RO控制系统 ：2、段出售率60%，2、段应用高脱硼膜组件 EDI电去阴离子 ：直流电压高密度2A/m²，坚持除去残留物亚铁离子 紫外线灭菌 ：254nmUVUV线含量40mJ/cm² 技术性短板 开放转用阻硅剂（巧妙胺类符合物），减轻膜环境污染周期公式3倍 EDI模块图片创新发展流道设定，硅清理率完善至99.8% 一直在线硅研究仪（在测量依据0.1-500μg/L）实行有目的设定 加载初步成效 经最后方测量： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L减至0.3μg/L 系统化收废率从原40%发展至68% 膜更換周期公式提升至5年，年启用投入削减35%